Mikropositionierer MS30

Kompakter Mikropositionierer für open und closed-loop Betrieb mit 8, 18 oder 30 mm Verstellweg Mikropositionierer MS30 mit 8, 18 bzw. 30 mm Verstellweg für open oder closed-loop Anwendungen. Verfügbar in folgenden Versionen: Standard, Hochvakuum bis 10^-6 oder Ultrahochvakuum bis 10^-9 mbar. Gewicht (open loop): 32 g, 38 g oder 54 g Schrittweite open loop (mit CF30 Controller): ca. 10 nm Wiederholgenauigkeit closed loop: bis 50 nm