Es werden Partikel und Fasern von Oberflächen, aus Pulvern oder aus Flüssigkeiten bzw. kleine Einschlüsse aus Feststoffen präpariert und deren Zusammensetzung analysiert.
Kleine Partikel werden mit zunehmender Miniaturisierung der Technik immer kritischer.
Je nach Anwendungsfall können bereits Teilchen von weniger als 10 µm Größe Probleme bereiten.