Prüfanlagen für die Halbleiterindustrie

Optimieren Sie Ihren Fertigungsprozess. Der Mikroskopscanner für die Prüfung von LEDs, OLEDs, MEMS basiert auf einer automatisierten Plattform, die hohe Durchsätze an Prüfteilen ermöglicht Das Grundsystem besteht aus einer Handhabungseinheit sowie einer Messeinheit. In der Handhabungseinheit fördert ein Roboter die Wafer oder Substrate mit Duchmessern bis 12“ aus Kassetten, während in der Messeinheit die Teile unter dem Detektor verfahren werden. Es werden typische Auflösungen von 0,5 µm bis 5 µm in Kombination mit Beleuchtungstechniken aus dem Spektralbereich UV-VIS-IR erzielt.